技術概要
本技術は、オゾン発生効率向上のために窒素を添加した原料ガスから生成されるオゾンガス中に含まれる、配管腐食や装置大型化の原因となる五酸化二窒素および硝酸を効率的に除去する方法を提供します。高純度シリカゲルを充填した複数の除去筒を並列配置し、少なくとも2塔を切替使用することで、吸着と再生を連続的に行います。これにより、高純度オゾンを途切れることなく供給しながら、吸着剤の再生率80%以上を達成し、装置の小型化と長期安定運転を可能にします。
メカニズム
本技術では、窒素含有オゾンガスが、高純度シリカゲルを充填した除去筒に導入され、五酸化二窒素や硝酸が吸着剤に吸着されます。この吸着工程と並行して、別の除去筒では、パージガス(酸素または不活性ガス)を供給しながら、吸着剤を100~200℃まで徐々に加熱します。この加熱により、吸着されていた窒素酸化物が脱離し、吸着剤が再生されます。この吸着・脱離工程を交互かつ連続的に切り替えることで、システム全体として窒素酸化物の除去を途切れることなく行い、高純度オゾンを安定的に供給し続けることが可能となります。
権利範囲
AI評価コメント
本特許は、有力な企業によって出願され、代理人の関与のもと、一度の拒絶理由通知を乗り越えて登録された安定した権利です。10件の先行技術文献が引用される激戦区で特許性を確立しており、技術的優位性が明確に示されています。残存期間は戦略的な事業展開に十分な期間であり、競争環境下での差別化を可能にする優れた知財と評価できます。
| 比較項目 | 従来技術 | 本技術 |
|---|---|---|
| 連続運転性 | バッチ式吸着: 稼働停止が発生 | ◎ (切替式連続運転) |
| 装置サイズ | 従来型除去装置: 大型化しがち | ◎ (効率化による小型化) |
| 吸着剤寿命 | 再生効率が低い: 短寿命 | ◎ (再生率80%以上で長寿命化) |
| オゾン純度 | 窒素酸化物混入リスクあり | ◎ (高純度オゾン安定供給) |
| 配管腐食リスク | 窒素酸化物による腐食リスク大 | ◎ (窒素酸化物除去でリスク低減) |
本技術の導入により、吸着剤の交換頻度が従来の半分以下に抑制され、年間交換費用と交換に伴う稼働停止損失を削減できる可能性があります。例えば、年間1,000万円の吸着剤費用と500万円の稼働停止損失が発生している場合、本技術による再生率向上で吸着剤寿命が2倍になると仮定すると、年間1,000万円 × 50% + 500万円 × 50% = 750万円の直接コスト削減、さらに高純度オゾン安定供給による製品品質向上や生産性向上を考慮すると、年間約1,500万円以上の経済効果が期待できると試算されます。
審査タイムライン
横軸: オゾン純度・安定性
縦軸: 運用効率・コストパフォーマンス